IKO洁净式精密定位工作台TC

IKO 洁净室用精密定位工作台TC TC...E

IKO洁净式精密定位工作台TC…E最适用于半导体、液晶关联制造装置等要求高清洁度环境。依靠独有的高气密结构,对于驱动部分及滑动工作台的导向部都做了密封处理,防止其向工作台周围发尘。
依靠IKO洁净式精密定位工作台TC…E内部的高闭性结构可实现洁净度CLASS 3。

产品特长

IKO C-Lube Maintenance-free series

洁净式精密定位工作台TC…E是基于轻量、低断面紧凑型精密定位工作台TE,并附带不锈钢板、侧面盖板、增强工作台内部密闭性构造,使其能对应清洁度CLASS 3的精密定位工作台。传动结构采用精密滚珠丝杠、可实现高精度定位动作。另外与滑动工作台成一体化构造的直线导轨与滚珠丝杠都内藏有C-Lube自润滑部件,能实现长时间免维护。
1. 对应清洁度CLASS 3 !)
依靠耐腐蚀性优异的不锈钢板、侧面盖板,对驱动部分及滑动工作台做密闭处理。
根据IKO测定方法评价其洁净度,实现CLASS 3。
关于洁净度测定
测定条件 试验装置概要略图
项目 内容
测定机器 粒子计数器
测定部空气流速 2.5m/s
测定空气量 28.3L(1cf)
测定时间 48h(10min/次、1次/h)
测定环境
测定资料例【{洁净度CLASS的上限浓度图表】
TC60E300 TC86E940
2. 轻量・低断面・紧凑型尺寸!
其主要结构部件使用了高强度铝合金的轻量、紧凑型定位工作台。
依靠直线导轨部与滚珠丝杠的最适化设计,高度尺寸实现了TC60E为54mm以及TC86E为67mm的低断面。
另外还采用了将各种传感器安装在侧面盖板的传感器安装槽内的结构,实现了省空间化。
3. 高精度的定位!
依靠IKO独有的直线导轨技术与精密滚珠丝杠的组合,实现更高的高精度定位。
4. 高耐腐蚀性!
其主要结构部件使用了经过耐酸铝处理的高强度铝合金及不锈钢(不锈钢板),具有优异的耐腐蚀性。
5. 长期免维护!
直线导轨内部与滚珠丝杠内藏有C-Lube自润滑部件,可实现长期免维护。
减少给油工时的同时也提高了设备装置的可靠性。